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〓第一次曝光【12英寸300公斤硅晶棒】和【硅晶圆】!〓

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发表于 2023-6-3 09:29:37 | 显示全部楼层 |阅读模式
硅晶棒:
一、晶棒成长工序
1)融化
将块状的高纯度复晶硅置于石英坩锅内,加热到其熔点1420°C以上,使其完全融化。
2)颈部成长
待硅融浆的温度稳定之后,将晶种慢慢插入其中,接着将晶种慢慢往上提升,使其直径缩小到一定尺寸,维持此直径并拉长100至200毫米,以消除晶种内的晶粒排列取向差异。
3)晶冠成长
颈部成长完成后,慢慢降低提升速度和温度,使颈部直径逐渐加大到所需尺寸(如5、6、8、12吋等)。
4)晶体成长
不断调整提升速度和融炼温度,维持固定的晶棒直径,只到晶棒长度达到预定值。
5)尾部成长
当晶棒长度达到预定值后再逐渐加快提升速度并提高融炼温度,使晶棒直径逐渐变小,以避免因热应力造成排差和滑移等现象产生,最终使晶棒与液面完全分离。到此即得到一根完整的晶棒。
二、晶棒裁切与检测
将长成的晶棒去掉直径偏小的头、尾部分,并对尺寸进行检测,以决定下步加工的工艺参数。
三、外径研磨
由于在晶棒成长过程中,其外径尺寸和圆度均有一定偏差,其外园柱面也凹凸不平,所以必须对外径进行修整、研磨,使其尺寸、形状误差均小于允许偏差


硅晶圆: 晶圆便是硅元素加以纯化(99.999%),接着是将这些纯硅制成长硅晶棒,成为制造积体电路的石英半导体的材料,经过照相制版,研磨,抛光,切片等程序,将多晶硅融解拉出单晶硅晶棒,然后切割成一片一片薄薄的晶圆。
目前:硅元素纯化可以达到99.999999999%,硅元素纯度11个9!

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发表于 2023-6-3 11:42:06 | 显示全部楼层
这是台湾的报道吧,看见繁体字了
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发表于 2023-6-3 09:41:03 | 显示全部楼层
这种材料叫【本征硅 】,不能称为半导体。

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 楼主| 发表于 2023-6-3 09:30:33 | 显示全部楼层
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 楼主| 发表于 2023-6-3 09:31:21 | 显示全部楼层
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 楼主| 发表于 2023-6-3 09:32:54 | 显示全部楼层
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发表于 2023-6-3 09:36:47 | 显示全部楼层
12吋的现在国内也可以做出来了,西门子最大的可以做到16吋,世界先进水平
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发表于 2023-6-3 09:40:43 | 显示全部楼层
高大上的东东,“不明觉厉”。谢谢W老分享

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 楼主| 发表于 2023-6-3 09:53:29 | 显示全部楼层
河西老道 发表于 2023-6-3 09:41
这种材料叫【本征硅 】,不能称为半导体。

本征硅
播报
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材料科学技术名词
本征硅是2011年公布的材料科学技术名词。
中文名称本征硅
英文名称intrinsic silicon
定  义晶格完整且不含杂质的硅单晶,其中参与导电的电子和空穴数目相等。室温下本征硅的电阻率约为2.32105Ω·cm。
应用学科材料科学技术(一级学科),半导体材料(二级学科),元素半导体材料(三级学科)
以上内容由全国科学技术名词审定委员会审定公布

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发表于 2023-6-3 09:57:33 | 显示全部楼层
高科技 ,谢谢普及。

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发表于 2023-6-3 10:01:35 | 显示全部楼层
这是芯片的基础材料吧?
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发表于 2023-6-3 10:02:53 | 显示全部楼层
第一次见识到,顶尖高科技产品!

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发表于 2023-6-3 10:17:16 | 显示全部楼层
扭腰客 发表于 2023-6-3 09:36
12吋的现在国内也可以做出来了,西门子最大的可以做到16吋,世界先进水平

20年前国内就做出来了,只是木有量产,因为需要一整套生产线配合
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发表于 2023-6-3 10:20:02 | 显示全部楼层
星黎飞 发表于 2023-6-3 09:53
本征硅
播报
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我们这些电子爱好者,天天跟它打交道啊;

这个必须知道!

谢谢楼主。
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发表于 2023-6-3 10:21:18 | 显示全部楼层
河西老道 发表于 2023-6-3 09:41
这种材料叫【本征硅 】,不能称为半导体。

【本征硅 】是杂质浓度低的半导体材料,对应材料纯度11-12个9以上,其半导体特性表现为硅半导体特性的本来行为——简称本征。

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发表于 2023-6-3 10:27:12 | 显示全部楼层
星黎飞 发表于 2023-6-3 09:53
本征硅
播报
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更正一下:在常温下,本征硅的电阻率约为2.3x10^5Ω·cm。
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